跟踪信号源实际上是一个输出幅度恒定、与频谱仪扫描接收频率同步的扫频信号发生器，频谱仪是接收机，通过一发一收，测量设定频率范围内连续频率点上信号幅度的变化情况，借以了解两端口网络的传输频响，功能类似扫频仪和标量网络分析仪。如果与驻波电桥配合，则可以得到单端口器件，如天线、负载器的反射频响曲线，用来测量器件的传输匹配阻抗情况。
频谱仪是否装备了跟踪信号源，从仪器外观上很好辨认。大部分内置跟踪信号源的频谱仪都会在面板上多出一个高频信号输出口，标有“GEN OUTPUT”或“RFOUT”字样，要注意与一些频谱仪提供的自校信号端口区别，自校信号端口上通常直接标上固定翰出频率和输出信号幅度。一般频谱仪的跟踪信号源都是选件，仪器面板上会留有跟踪源输出端口的位置，未安装跟踪源组件则会用个小盖子封上。
使用频谱仪跟踪源功能的具体操作是准备两条测试电缆和一个能将两条电缆连在一起的连接器，测试电缆用于分别连接频谱仪的跟踪源输出端和信号输入端，测试电缆的另两端分别可与被测器件输入、输出端口相连。
进入跟踪源工作模式，设置跟踪源参数。进入跟踪源，设置菜单。首先设噩跟踪源输出频率范围，这与频谱仪扫描频率区间设定一样，有“中心频率+扫宽”和“起始频率十终止频率”两神输入方式。
校正测量系统，将两条测试电缆通过连接器直接互连（相当于跳过被测器件直接短接），执行自校准程序，这样仪器就能修正由测试电缆和端口连接器引入的高频插入损耗造成的误差。通过校正操作，测试电缆就与频谱仪融为一体，测试端口也由仪器面板端口延伸至测试电缆端口，在频谱仪显示屏上也出现一条水平的直线（测试电缆短接状态下）。有的老式频谱仪软俘不支持此类校正操作，可跳过这一步骤。未经校正的跟踪源信号参考线会出现弯曲（波动）和倾斜（上翘或下弯）的情况，影响测量的准确性。断开相互短接的测试电缆，取下连接器。将测试电缆的两端与被测器件的输入、输出端口连接，如接口类型不匹配，可使用转换接头。 连接完毕频谱仪屏幕上显示出被测器件的传输频响曲线。对于带通滤波器显示出“凸”字图形，对予小型双工器一类的陷波器则显示出“v”字形或“凹”字形图形。图形背景网格线表明信号落差的分贝数，一般默扶背景格垂直每格代表10dB。
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