经过无尘清洗后的工衣将会直接使用于各种无尘级别的无尘车间,在生产高精密产品的车间,任何一个环节的异常就可能对最终产品的质量造成损害。如工衣上的尘粒超过一定控制范围,就会因为穿着者的来回走动而跌落到无尘环境中,这些粒子就有机会飘落到最终产品上,洁净服作为无尘环境中的一个重要环节,对其进行监控就显得非常重要。
洁净服测试主要包括以下方面的测试
▲ ESD测试
ESD性能是评估工衣质量好坏的重要指标。一般ESD测试有四部分:磨擦电压测试、静电压测试、电阻测试、衰减时间测试。
磨擦电压测试
该测试主要是验证布料本身在经过磨擦积累一些电压后,能否在简短的时间内达到一个规定的稳定值,这主要是检验导电丝的质量。
*测试方法,在专用的ESD测试台(经过接地)上,测试员用手使用一定的力度和速度对布料表面磨擦若干次(通常5-10次),然后用专用的电压测试仪的探头相隔5cm左右对准被摩擦部分,读取第5秒后的电压值。
*测试标准,半导体行业的衣服ESD的要求一般要求小于100V。有些行业有更严格的标准,如晶圆、磁头行业,摩擦电压一般小于20V。
静电压测试
该测试是验证布料本身在环境中积累了一定的静电后能通过导电丝导走多少而还停留多少。
*测试方法,将被测试衣服置于专用测试台上,用ESD测试仪的探头相隔约5CM左右读取电压值。
测试标准,根据客户工衣的设计标准而定,最严格的可以要求到小于5V。一般在50V左右的较常见。
表面电阻测试
该测试可以验证导电丝的导电功效和布料与布料之前的缝合工艺是否符合要求,如导电丝之间的连接等。
*测试方法,将被测试工衣置于专用测试台上,使用电阻测试仪对其进行测试,通常需要对工衣的不同点进行测试,如同一块布料之间、不同布料块之间、袖与袖之间、裤对裤之间等。
*测试标准,根据半导体行业的标准,大多数企业都将工衣的电阻控制在105—109欧姆,也有严格的定在105—107。
▲ 衰减时间
该测试主要是验证布料的导电丝在经过加高压后能在多长时间内将高压耗散到一定的范围。
大多数的布料衰减时间都能达到0.5秒以下,具体的要求根据不同的客户而定。
▲ 洁净度测试
滚桶测试(HELMKEDRUMTEST)
该测试是由美国人HELMKE发明的,所以也叫HELMKEDRUMTEST。该标准被收录在IEST-CC-RP003.3(美国环境与科学技术协会标准之工衣系统)。
*测试原理,该测试是模拟人员穿上无尘衣后工作时不同状态(如走动、身体的不停转动等),看其跌落多少尘粒。
滚筒测试
*测试标准,根据IEST-RP—CC003.3标准,不同级别的无尘衣标准也不同,请参考附录图表。
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LPC测试(液态尘粒测试)
该测试是对清洗后的工衣进行尘粒测试的一个最准确的测试,一般具有权威性。
*测试方法,该测试是将工衣的布料(一般取样一小块,计算出面积)放入DI水中,然后经过超声波振荡一定时间,测试出DI水中的各个粒径的粒子含量,最后同原样DI水进行对比,以得出布料的测试结果。
LPC测试
*测试标准,磁头行业,一般要求对于0.5um的粒子来说,不能超过3000个/平方厘米。有些行业如晶圆,要求会更严格。
▲ 过滤性测试
过滤性测试是测试布料过滤尘粒的能力。
IEST-RP-CC003.3对过滤效率的测试做了规定,方法是在一定压力下,通过洁净服面料抽取空气,用空气微粒计数器测试加载布料前后的尘粒数,其微粒数对比的结果显示了面料阻拦粒子的能力。
布粒的过滤性=1-(加布前的尘粒度平均值/加布后的尘粒度平均值)×100%
*测试标准,一般磁头及半导体行业对工衣的过滤性要求较高,为65%--85%。
▲其它微观测试
在无尘清洗行业,除了进行洁净度测试外,根据客户的要求,还需要进行如离子测试(IC)、傅立叶红外线光谱测试(FTIR)、非挥发性残留物测试(NVR)等等微观方面的测试。
▲导电纤维显微镜检查
由于工衣在使用过程中布料会和工作台面磨擦以及遇到不同的力度拉伸等情况,所以有很大机会破坏导电丝,如断裂、破损等。这样就会导致衣服的ESD性能变差。
*测试方法,使用放大倍数最少20倍或以上的电子显微镜,观察其布料的导电丝是否有断裂、破损等情况。
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