Hitachi S-4800简介:
日本Hitachi公司生产S-4800型SEM,采用专利的E×B技术,可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。配有X-射线能谱仪,可在形貌观察的同时进行样品成分分析。
仪器主要配置:
X射线能谱仪,离子溅射仪,真空蒸镀仪,冷冻干燥机。
主要性能指标:
1.二次电子分辨率:1.4nm(1kV,减速模式);1nm(15kV)
2.电子枪:冷场发射电子源
3.加速电压:0.5~30 kV
4.放大倍数:×20~×800,000
5.探测器:低位/高位二次电子探测器
应用领域:
主要用于生物体、高分子、无机非金属、金属材料等样品的表面形貌观察及元素成分分析。广泛应用于生物、能源、材料、化工、环境等研究领域。
操作规范
一、 开机前准备
1.1 制备样品(带口罩与手套进行) SEM样品制备相对简单,原则上只要能放入样品室的样品,都可进行观察。
但需注意以下事项:
a) 样品在物理上和化学上必须要保持稳定,在真空中和电子束轰击下不挥发或变形,
没有腐蚀性和放射性。(通常是干燥固体。)
b) 由于光源是电子,样品必须导电,非导电样品可喷镀金膜。金膜在一定程度上会影
响样品原有形貌。(若样品本身导电,衬底不导电,如蓝宝石上的ZnO,只需用导电胶把样品表面连到样品台。)
c) 由于物镜有强磁性,带有磁性的样品制样必须非常小心,防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。通常磁性样品必须退磁,且工作距离(WD)须大于8mm。
具体操作过程:
(1) 按待测样品数量选择样品台,(支持直径d=5mm,15mm,1
inch,2 inch等规格,若要观测截面可选择带角度的样品台)。
(2) 剪一小段导电胶,粘到样品台上。若样品为粉末,则把粉末撒到导电胶上,用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末;若是块状样品,则把样品牢牢粘到导电胶上,用手轻轻推,样品不会左右晃动。(为观测时方便定位,将样品排列成行(或列),并在行下方(或列左侧)标上数字编号。)
(3) 样品粘贴完成后,用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等(会影响照片质量,甚至使真空度下降而无法加高压,推荐认真执行。)
1.2 查看真空度 打开前面板盖,点击MODE按钮直至IP1指示灯闪,在登记表记下MULT
INDICATOR数码显示管的读数,同理读取IP2,IP3并记录。确认IP1<2E-7,IP2<2E-6,IP3<5E-5。(通常情况都是IP1显示0E-8,IP2显示0E-8,IP3显示0E-8或aE-7,1。)
二、 开机操作
2.1 开机
网络营销干货汇总
搜索营销
社会化营销 移动营销 数据分析
a) 开启冷却循环水电源,循环水温度显示应在15-20℃,水位应浸没金属线圈。
b) 按下位于桌子右上角的显示单元“DISPLAY”开关,
c) 电脑自动启动,根据界面提示按“Ctrl+Alt+Delete”,口令为空,直接Enter进入系 统。系统自动启动程序,口令为空,直接Enter进入程序。按下“—”启动Display 进入程序
2.2 轰击(flashing) 场效应电子扫描显微镜(FE-SEM)在程序启动后会提示进行flash,(去除电子源——FE尖端吸附的气体分子,起清洁作用。)通常是每天开始使用SEM时flash
一次,并记录发射电流Ie,当累计使用超过8小时,发射电流开始不稳定,需要再轰击一次,同样记录下电流Ie。(注意flash不需要开启观测用的电子枪高压,软件显示高压off为灰色状态。)
轰击后可以立即观察图像。但是在最初的1小时左右,有时会有图像干扰(图像中出现明暗的横线)。进行高分辨率的观察时,最好在轰击完1小时以上后再进行观察。