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红外椭圆偏振光谱仪

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西域库存号：

L3320148

产品名称：

红外椭圆偏振光谱仪

产品简述：

EHSY Lab西域品质提供的红外椭圆偏振光谱仪性能卓越，能满足您不同工作

环境的多种需求。

红外椭圆偏振光谱仪是当今国际上唯一一种单色仪分光形式的红外椭圆偏振

光谱仪。它具有高准确度，高精度和高性价比（与红外傅里叶光谱仪的红外

椭圆偏振光谱仪比较）等优点。红外椭圆偏振是一项令人鼓舞的新的技术，

它将会在固体和化学等领域产生不可估量的价值。它可用于任何衬底，对膜

厚很小的薄膜具有高灵敏度。通过测量分析可得到光学常数、膜厚和化学结

构等信息。

性能：

　　分光器: 单色仪

　　光谱范围: 4000 - 800 cm-1

　　光谱分辨率: 4 cm-1

　　光斑直径: 4 mm

　　光束发散角: 0.5°

　　入射角范围: 35° to 90°

　　重复性: (在1000 cm-1直线入射)

　　　　　　tan(Psi)=1±0.003 cos(Delta)=1±0.003

　　准确性: (直线入射，800 cm-1至4000 cm-1之间)

　　　　　　tan(Psi)=1±0.01 cos(Delta)= 1±0.01

应用：

确定各种薄膜的折射率和体吸收结构

很大膜厚范围的薄膜厚度测量

半导体中自由载流子效应，电阻测量和掺杂分布

指认化学键

薄膜吸附

掩埋层研究

多层结构材料中的孔洞率

作为众多知名品牌的合作伙伴，EHSY Lab西域以其优良的品质和服务来保证

阁下员工的职业健康，安全环境和美好未来。

备注 ：

产品报价包含17%增值税，但不包含国内配送运费。

搜索关键字：

半导体材料 薄膜测量 椭圆偏振仪 薄膜厚度测量

产品规格列表

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