场发射扫描电子显微镜

　　主要用途：该仪器具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图象处理。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

　　仪器类别：03040702 /仪器仪表 /光学仪器 /电子光学及离子光学仪器

　　指标信息：二次电子象分辨率：1.5nm 加速电压：0～30kV 放大倍数：10-50万倍连续可调工作距离：5～35mm连续可调倾斜：-5°～45° x射线能谱仪： 分辨率：133eV 分析范围：B-U

　　附件信息：镀金镀炭仪 ISIS图象处理系统背散射探头

　　场发射扫描电镜，由于分辨率高，为纳米材料的研究提供了可靠的实验手段。另外，对半导体材料和绝缘体，都能得到满意的图像，对超导薄膜，磁性材料，分子束外延生长的薄膜材料，半导体材料进行了形貌观察，并对多种材料进行了微区成份分析，均能得到满意的结果

　　1、分辨率 2、放大倍数 3、加速电压 4、低压范围 5、探针电流 6、样品室 7、样品台 8、倾斜角

　　场发射扫描电子显微镜，广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。该仪器的最大特点是具备超高分辨扫描图像观察能力，尤其是采用最新数字化图像处理技术，提供高倍数、高分辨扫描图像，并能即时打印或存盘输出，是纳米材料粒径测试和形貌观察最有效仪器。也是研究材料结构与性能关系所不可缺少的重要工具。

　　二次电子图像（SEI） 分辨率1.5nm

　　背散射电子图像（BEI) 分辨率3.0nm

　　X射线能谱仪（EDS） 分辨率128ev 分析范围B5～U92

　　电子背散射衍射（EBSP）空间分辨率 0.5μm 采集时间 20ms～2s/每菊池图

　　数字图像采集系统 分辨率512×384pixe1 1024×768