MX61 奥林巴斯MX61半导体检查显微镜

　　MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半导体检查显微镜通过各种观察方法--明视场法、暗视场法、微分干涉法（DIC）、荧光法、红外线法和深紫外线法，保证了卓越的图像分辨率和鲜明度。

　　考虑了检查效率的设计

　　鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

　　软件方案

　　支持缺陷检测的多种功能

　　帮助实现多种观察的附件

　　考虑了检查效率的设计

　　主要操作集中配置在前面板上

　　前面板

　　在对比度的决定上起重要作用的孔径光阑（AS）的开闭调节，与物镜的切换和观察模式连动，用一个按钮就可以操作。此外，用一个手指就可以调光的旋钮也配置在前面板上，从而提高了检查速度。物镜和孔径光阑（AS）的按钮分别斜向配置，手不离开对焦手柄，只要轻动大拇指就可以操作。这个按钮的倾斜式设计提高了手指尖的感知度，能够防止错误操作。

　　观察姿势迅速到位的倾斜镜筒

　　倾斜镜筒示意图 为了适应视点而调整座椅的高度，或是以不合理的姿势进行检查的话会浪费时间，降低工作速度。但是，配备倾斜角度为0°～42°（可变高度为150 mm，SEMI S8对应）的倾斜镜筒，可采取与检查者体格无关的舒适观察姿势，甚至可以站立检查。此外，这一款镜筒拉长了从观察中心轴到观察者视点的距离，可以在较大的平台上轻松操作。

　　高灵敏度载物台可以迅速决定位置

　　内置离合器的载物台手柄

　　对应300 mm晶圆／17英寸面板的MX-SIC1412R2载物台有较大的透射照明范围（Y方向284 mm）。另外，内置离合器的载物台手柄，可切换粗调和微调。在显微镜观察的同时能自由地移动载物台，快速完成检查。

　　鲜明图像和卓越的分辨率为特点的光学系

　　多种选择可实现卓越的成像性能

　　物镜是涉及到样品的照明和观察的重要部件，奥林巴斯有应对多种多样的观察方法、长工作距离、红外光及LCD检查用的齐全的物镜产品阵容可供选择。

　　观察影像实例

　　明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察 荧光观察

　　软件方案

　　奥林巴斯MX61半导体检查显微镜

　　奥林巴斯MX61半导体检查显微镜

　　实现数字成像

　　MX61L配备了PC界面，可以读取显微镜的电动功能。因此，捕获影像时可以自动保存物镜倍率，为日后处理和分析影像提供可靠的影像信息。

　　使用数码照相机记录和保存数码影像

　　三目镜筒可以安装数码照相机。可以保存和记录数码影像，帮助创建观察报告。可依据用途从图像质量、功能、使用方便性等方面选择数码照相机。

　　支持缺陷检测的多种功能

　　快速切换物镜，提高检查速度

　　电动物镜转换器示意图

　　电动物镜转换器的切换速度比原来提高了20%。物镜的切换，可以操作按钮瞬时间完成，提高了检查速度。三种洁净类型的物镜转换器可以按需选择。另外，UIS2物镜大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸摄像元件的CCD摄像机，在切换倍率时也不会由视场中心附近偏离。

　　变换物镜，孔径光阑（AS）也随之调节

　　AS自动调节示意图

　　每次变换物镜时都需要调节孔径光阑（AS）的话，会影响检查速度。MX61L对每个物镜都可以设置观察方法和AS（14级），只要切换物镜就能以最合适的对比度进行观察。在变换物镜和切换观察模式时不再需要花时间调节AS，提高速度的同时减轻了操作员的疲劳。

　　帮助实现多种观察的附件

　　安全快速的搬运晶圆

　　自动晶圆搬送机AL110（200 mm规格）组合 MX61L能与自动晶圆搬送机组合，组合后的尺寸也被设计得很小。能够无接触、安全和快速的执行从内面的宏观检查到微观检查等多种任务。此外，晶圆盒还可以从前面轻松设置。如果使用选件的遥控器，那么不良晶圆的登录、开始和保存都可以在手中快速完成。

　　近红外线观察单元

　　由可见光线领域到近红外线领域的像差校正物镜，