场发射扫描电子显微镜技术参数、主要用途及应用范围

　　场发射扫描电子显微镜可对金属、陶瓷、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行观察和分析研究。具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。本文主要为大家介绍一下场发射扫描电子显微镜技术参数、主要用途及应用范围。

　　SIGMA500场发射扫描电子显微镜技术参数

　　分辨率： 0.8nm@15kV  1.6nm@1kV

　　放大倍数：10-1,000,000×

　　加速电压：调整范围：0.02-30kV（无需减速模式实现）

　　探针电流： 4pA-20nA（40nA&100nA可选）

　　低真空范围：2-133Pa（Sigma500可用）

　　样品室： 358mm（φ），270.5mm（h）

　　样品台：5轴优中心全自动  

　　X=125mm（可选130mm）

　　Y=125mm（可选130mm）

　　Z=50mm

　　T=-10º-90º

　　R=360º连续

　　系统控制：基于Windows7的SmartSEM操作系统，可选鼠标、键盘、控制面板控制

　　场发射扫描电子显微镜主要用途

　　场发射扫描电子显微镜，广泛用于生物学、医学、金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、商品检验、产品生产质量控制、宝石鉴定、考古和文物鉴定及公安刑侦物证分析。可以观察和检测非均相有机材料、无机材料及在上述微米、纳米级样品的表面特征。该仪器的最大特点是具备超高分辨扫描图像观察能力，尤其是采用最新数字化图像处理技术，提供高倍数、高分辨扫描图像，并能即时打印或存盘输出，是纳米材料粒径测试和形貌观察最有效仪器。也是研究材料结构与性能关系所不可缺少的重要工具。

　　场发射扫描电子显微镜应用范围

　　1、金属、陶瓷、高分子、矿物、水泥、半导体、纸张、塑料、食品、生物等材料的显微形貌、晶体结构和相组织的观察和分析。

　　2、各种材料微区化学成分的定性和半定量检测。

　　3、粉末、微粒纳米样品形态和粒度的测定。

　　4、复合材料界面特性的研究。

　　场发射扫描电子显微镜具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。已广泛地应用于物理、化学、材料、地质、地理、生物、医学等学科以及冶金、陶瓷、电子、半导体等工业，具有广泛的应用前景。