半导体电阻式气体传感器是气体传感器中重要的一类。其中，金属氧化物半导体气体传感器又是重要的一种，该类气体传感器是利用金属氧化物(包括复合氧化物)半导体作为基体材料，添加一定的催化剂和其它金属气化物作为添加剂来制作的。其基木上作原理是当气体吸附于该半导体表面时，将引起半导体材料总电导率发生变化，从而导致传感器电阻随气体浓度发生变化。半导体气体传感器主要性能指标有：静态电阻（Ro和Rs）、灵敏度K、响应时间、选择性、稳定性和可靠性等。
1、Ro和Rs
固有电阻Ro表示半导体气体传感器在正常空气条件下(或洁净空气条件下)的阻值，又称正常电阻。工作电阻Rs代表气敏器件在一定浓度的检测气体中的阻值。
2、灵敏度K
就物理意义而言，气体传感器的灵敏度是指器件对被测气体的敏感程度。通常用气体传感器在一定浓度的检测气体中的电阻与正常空气中的电阻与之比来表示灵敏度K
由一于正常空气条件往往不易获得，所以，‘常用在两个不同浓度中的器件电阻之比来表示灵敏度
式中， 代表在检测气体浓度为 ，的气体中气体传感器电阻； 代表检测气体浓度 的气体中器件电阻。
灵敏度是气敏元件的一个重要参数，它标志着气敏元件对气体的敏感程度。
为了方便起见，通常在实际应用中，在一定的测量前提条件下，用气体传感器在一定浓度的检测气体中的取样电压与正常空气中的取样电压之比来表示
灵敏度 。
3、灵敏度的时间特性
气体传感器连续工作时，灵敏度随时间的变化特性。
4、选择性
即在多种气体共存的条件下，气敏元件区分气体种类的能力。以待测气体 对干扰气体 的分辨率 来表示:
上式中 为器件对待测气体的灵敏度，
为器件对干扰气体的灵敏度，且待测气体与干扰气体均以同一浓度来比较。某种气体的选择性好，就表示气敏元件对它有较之其他气体高得多的灵敏度，选择性是气敏元件的重要参数，但也是目前较难解决的问题之一。
5、响应时间 tres
响应时间是气体传感器的一个重要特性参数，它代表气体传感器对被测气体的响应速度。从原则上讲，响应越快越好，即气体传感器一接触气体，或气体浓度一有变化，器件阻值马上就随之变化到其确定阻值。但实际上是很难办到的，总要有一段时间刁‘能达到稳定值。原则上把从器件接触一定浓度的被测气体开始到其阻值达到该浓度下稳定阻值90%时所需的时间，定义为响应时间，用tres表示。
6、恢复时间trec
恢复时间表示气体传感器对被测气体的脱附速度，又称脱附时间。同样，也希望这一时间越快越好。由于这时间也不能为零，原则上把气体传感器从脱离检测气体开始，到其阻值恢复到正常空气中阻值10%所需的时间，定义为恢复时间，用trec表示。
实际上，对于某一气体传感器，往往并不按上述定义确定响应时间和恢复时间，而常用气体传感器从接触和脱离检测气体开始，到其阻值或阻值增量达到某一确定值的时间，例如，气体传感器阻值增量由零变化到稳定增量的63%所需要的时间，定义为响应时间和恢复时间。
7、温度特性
当环境温度变化时，气体传感器的阻值随之变化的特性。
8、湿度特性
当环境湿度变化时，气体传感器的阻值随之变化的特性。
9、稳定性
即当气体浓度不变时，若其他条件发生变化，在规定的时间内气敏元件输出特性维持不变的能力。它表示气敏元件对于气体浓度以外因素的抵抗能力。如初期稳定时间，气体传感器经一定时间不通电放置后，再通电工作，电阻值达到稳定值时所需要的时间。
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