压力传感器的发展
80年代初,微型压阻式多路绝对压力传感器开始大批量生产,取代了早期采用LVDT技术的压力传感器。80年代中期微型加速度传感器开始用于汽车安全气囊,它们是到目前为止大量生产的、并在汽车中得到广泛应用的微型传感器。然而微型传感器的大规模应用势必将不限于发动机燃烧控制和安全气囊,在未来5~7年内包括发动机运行管理、废气与空气质量控制、ABS(antilock brake system,防抱死系统)、车辆动力学控制、自适应导航、车辆行驶安全系统(如气囊和障碍物检测与避撞等)在内的应用将为MEMS技术提供广阔的市场。
压力传感器的应用领域
2000~2005年度汽车传感器的主要增长领域包括以下几个方面:用于车辆动力学控制和安全气囊的加速度计;用于传动、刹车、冷却、轮胎、燃油等方面的压力传感器;用于车辆动态控制、翻车报警和GPS后备的偏航速率传感器;用于轮速以及凸轮轴、机轴、踏板位置敏感的位置传感器;车厢环境监控的湿度传感器;日光、雨水和湿度传感器;用于近距离障碍物检测和避撞的测距传感器。
压力传感器的优势
由于基于MEMS技术的微型传感器在降低汽车电子系统成本及提高其性能方面的优势,它们已经开始逐步取代基于传统机电技术的传感器。早期的多路绝对压力传感器已经基本为微型化的传感器所替代,目前这种传感器的敏感元件和信号处理电路已经可以集成在同一芯片上,从而大大缩小了体积并可以提高可靠性和减小干扰。